ゲートバルブ（UHV対応、高真空対応　ICF・VG型）アングル／インライン型高真空バルブ（NW型） ICFミニUHVｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ  メーカー VAT  使用圧力範囲 1×10-8 Pa 〜 0.2 MPa (abs)  特徴 ・UHVから腐食性雰囲気までの広範囲な用途 ・単純なMONOVAT機構 ・リーク量  ボディ ＜5・10-11 Pa m3s-1  シート ＜1・10-10 Pa m3s-1  メーカー詳細情報 ICFUHVゲートﾊﾞﾙﾌﾞ  メーカー VAT  使用圧力範囲 1×10-8 Pa 〜 0.2 MPa (abs)  特徴 ・UHV対応の最適・標準バルブ ・最高200℃ベーク（バルブ開） ・リーク量  ボディ ＜5・10-11 Pa m3s-1  シート ＜1・10-10 Pa m3s-1  メーカー詳細情報 高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ（ｵｰﾘﾝｸﾞ軸ｼｰﾙ）  メーカー VAT  使用圧力範囲 1×10-6 Pa 〜 0.2 MPa (abs)(DN 250-400)  特徴 ・生産システムに最適  コンパクトタイプ  メンテナンス容易  長いサイクルライフ：200,000サイクル ・最高200℃ベーク（バルブ開） ・リーク量  ボディ、シート共 ＜1・10-10 Pa m3s-1  メーカー詳細情報 NWアングルバルﾌﾞ  メーカー VAT  使用圧力範囲 １×10-5 Pa 〜 0.5 MPa (DN16-50) １×10-5 Pa 〜 0.4 MPa (abs)(DN63-160)  特徴 ・ボディ材質;アルミニウム又はステンレススチール ・シール材料 プレート：VITONR,ボンネット：VITONR ・リーク量  ボディ、バルブシート共 ＜1・10-10 Pa m3s-1  メーカー詳細情報 NWダイアフラムバルブ  メーカー VAT  使用圧力範囲 １×10-5 Pa 〜 0.5 MPa (abs)  特徴 ・ボディ材質;アルミニウム ・手動式 ・リーク量  ボディ、シート共 ＜1・10-10 Pa m3s-1  メーカー詳細情報 低価格オールメタルアングルバルブ  メーカー VAT  取り付け ICF  使用圧力範囲 UHV to 0.2 MPa (abs)  特徴 ・300℃まで、ベーク可能（開、閉位置において） ・コンダクタンス大 ・耐・放射線性：108 Gy ・リーク量  ボディ、シート共 ＜5・10-11 Pa m3s-1  メーカー詳細情報 オールメタルアングルバルブ  メーカー VAT  使用圧力範囲 UHV to 0.5 MPa (abs)  特徴 ・（極）UHV ／ 厳しい条件に対応  高いベーク温度、450℃（開）、350℃（閉）  10,000サイクルライフ  コンダクタンス大  耐・放射線性：108 Gy ・リーク量  ボディ、シート共 ＜1・10-11 Pa m3s-1  メーカー詳細情報