小型ターボ分子ポンプ ターボ分子ポンプ　ターボバック50  メーカー oerlikon leybold vacuum  取り付け 吸気側フランジ：40CF　40KF　63ISO-K　63CF 排出側フランジ：16KF  排気速度 N2(29L/s-40CF、32L/s-40KF、37L/s-63ISO-K　63CF) He(33L/s-40CF、36L/s-40KF、28L/s-63ISO-K　63CF) H2(55L/s-40CF、48L/s-40KF、30L/s-63ISO-K　63CF)  重量 約2Kg  特徴 ・NT10(コントローラー別売)180 - 260 V (with EURO plug) ・到達圧力：10-9mbar ・セラミックベアリング使用による高い信頼性(MTBF/25,000時間)  (メンテナンスフリー) ・取り付け方向：任意 ・冷却方法：不要（通常運転時） メーカー詳細情報 複合分子ポンプ　EXT70H  メーカー BOC　EDWARDS  取り付け 吸気口フランジ：DN40NW、DN63CF、DN63ISO-K 排気口フランジ：DB16NW  排気速度 N2(52L/s-DN40NW、53L/s-DN63CF、46L/s-DN63ISO-K) He(65L/s-DN40NW、60L/s-DN63CF、50L/s-DN63ISO-K) H2(65L/s-DN40NW、60L/s-DN63CF、50L/s-DN63ISO-K)  外形 メーカーサイトを参照  特徴 ・推奨コントローラーEXC100EまたはEXC120 ・到達圧力：5×10-7Pa(DN40NW)、5×10-8Pa(DN63CF)、5×10-7Pa(DN63ISO-K) ・ベアリングが無接点のために機械的な摩耗が無い（ローメンテナンス） ・取り付け方向：任意 ・冷却方法：自然対流または強制空冷または水冷 メーカー詳細情報 ピボット軸受型　PT-50  メーカー 島津製作所  取り付け 吸気口フランジ：JIS　VG65 排気口フランジ：NW 16  排気速度 N2(50L/s)、H2(40L/s)  外形 メーカーサイトを参照  重量 約2.2Kg  特徴 ・パワーサプライ：電力容量-0.34kVA、入力電圧-単 相100 〜 240ACV(50／60) ・到達圧力：10-7Pa ・軸受油の交換不要、磨耗部なしで長寿命・メンテナンス不要 ・取り付け方向：垂直取り付けのみ ・冷却方法：空冷/水冷 メーカー詳細情報