ターボ分子ポンプ

STP磁気浮上ターボ分子ポンプ STP301
 メーカー BOC EDWARDS
 取り付け 吸気口フランジ:VG100/ISO100/ICF152
排気口フランジ:NW25
 排気速度 N2(300L/s)、He(280L/s)、H2(300L/s)
 外形 メーカーサイトを参照
 重量 ポンプ11Kg、コントローラー7Kg
 特徴
・入力電圧:100〜120Vまたは200〜240V 消費電力:550VA
・超高真空対応:到達圧力(ベーク後)標準10-8Pa
排気曲線
・取り付け方向:任意
・冷却方法:水冷・強制空冷・自然空冷
メーカー詳細情報

STP磁気浮上ターボ分子ポンプ STP451
 メーカー BOC EDWARDS
 取り付け 吸気口フランジ:VG150/ISO160/ICF203
排気口フランジ:NW25
 排気速度 N2(480L/s)、He(420L/s)、H2(460L/s)
 外形 メーカーサイトを参照
 重量 ポンプ12Kg、コントローラー7Kg
 特徴
・入力電圧:100〜120Vまたは200〜240V 消費電力:550VA
・超高真空対応:到達圧力(ベーク後)標準10-8Pa
排気曲線
・取り付け方向:任意
・冷却方法:水冷・強制空冷・自然空冷
メーカー詳細情報

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