真空計

クリスタルゲージ M-320XG
 メーカー キャノンアネルバテクニクス株式会社
 取り付け NW16、25 φ34ICF、φ70ICF VG70
 測定圧力範囲 大気圧〜10-2Pa
 外形 72.5H×102W×44.5D
 重量 200g(ヘッド含まず)
 特徴
・大気圧〜10-2Paまで、優れた再現性で測定が可能
・優れた耐ガス性
・Gas種選択:N2、Ar、H2、Air
・低消費電力:最大消費電力2W
・入出力コネクタ:Dsub15P
メーカー詳細情報

表示計

ワイドレンジ電離真空計 M-431HG
 メーカー キャノンアネルバテクニクス株式会社
 取り付け RS232C
 測定圧力範囲 13.2×10Pa〜0.01×10-7Pa
 外形 104W×99H×296D
 重量 1.2Kg
 特徴
・ミニュチュアゲージ専用の真空計制御電源
・外部出力、RS232C通信機能を標準搭載
・入力電圧はワイド電圧
・消費電力:50VA AC90〜240V 50/60Hz
・標準構成:真空計本体
 (測定球及び、ケーブルは構成品に含まれません)
メーカー詳細情報

電離真空計 M-922HG
 メーカー キャノンアネルバテクニクス株式会社
 取り付け オプション
 測定圧力範囲 10-2〜10-9Pa
 外形 209W×99H×330D(1/2ラックサイズ)
 重量 5.4Kg
 特徴
・圧力レンジ自動切換
・ガス種による比感度の設定が可能
・豊富なオプション:
 ゲージセレクタボックス/TCゲージボード/CMボード
 BCD出力ボード/セットポイントボード/RS232Cボード
 GP-IBボード
・APC(圧力自動制御)用レンジホールド機能を標準装備
・測定球:NIG-2F/NIG-2TF ヌードイオンゲージ球
メーカー詳細情報

キャパシタンスゲージ

M-340DG
 メーカー キャノンアネルバテクニクス株式会社
 取り付け 8-VCR(メス)、NW16、NW25、φ70ICF、φ15チューブ
 測定圧力範囲 133.3Pa(1Torr)(M-340DG-01)、133.3kPa(1000Torr)(M-340DG-13)
 外形 センサーヘッド部 φ38×L66.5mm
 重量 センサーヘッド部 約170g
 特徴
・シリコンダイヤフラムの採用により、高感度、高再現性を実現
・マイクロマシン(MEMS)技術を用いて、小型化、低価格(量産化)を実現
・センサチップのみの交換が可能なためメンテナンスコスト低減
メーカー詳細情報

ワイドレンジ電離真空計コントローラ

M-832HG
 メーカー キャノンアネルバテクニクス株式会社
 取り付け φ15 ゲージアダプタ又は、NW16、NW25、Φ34ICF、Φ70ICF 付等
 測定圧力範囲 9.9×100 〜 0.1×10-7Pa
 外形 99H×209W×330D
 重量 5.4kg
 特徴
・測定レンジ自動切り替え
・見やすい液晶表示形式
・豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能
・様々なオプションにより、機能拡張が可能
メーカー詳細情報

四重極型質量分析計

M-101QA-TDF
 メーカー キャノンアネルバテクニクス株式会社
 取り付け φ70ICF
 測定圧力範囲 1.3×10-2Pa以下
 重量 分析管1.4Kg、コントローラ2.2Kg
 特徴
・F:検出器にファラデーカップ(FC)を使用した標準モデル
・M:検出器に2次電子増倍管(SEM)を搭載した高感度モデル
・低ガス放出分析管、デガス機能を搭載
・高感度モデルM-201QA-TDM(質量数1〜200)、M-101QA-TDM(質量数1〜100)
メーカー詳細情報

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