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| クリスタルゲージ M-320XG |
| メーカー |
キャノンアネルバテクニクス株式会社 |
| 取り付け |
NW16、25 φ34ICF、φ70ICF VG70 |
| 測定圧力範囲 |
大気圧〜10-2Pa |
| 外形 |
72.5H×102W×44.5D |
| 重量 |
200g(ヘッド含まず) |
| 特徴 |
・大気圧〜10-2Paまで、優れた再現性で測定が可能
・優れた耐ガス性
・Gas種選択:N2、Ar、H2、Air
・低消費電力:最大消費電力2W
・入出力コネクタ:Dsub15P |
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メーカー詳細情報 |
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| ワイドレンジ電離真空計 M-431HG |
| メーカー |
キャノンアネルバテクニクス株式会社 |
| 取り付け |
RS232C |
| 測定圧力範囲 |
13.2×100Pa〜0.01×10-7Pa |
| 外形 |
104W×99H×296D |
| 重量 |
1.2Kg |
| 特徴 |
・ミニュチュアゲージ専用の真空計制御電源
・外部出力、RS232C通信機能を標準搭載
・入力電圧はワイド電圧
・消費電力:50VA AC90〜240V 50/60Hz
・標準構成:真空計本体 (測定球及び、ケーブルは構成品に含まれません)
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メーカー詳細情報 |
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| 電離真空計 M-922HG |
| メーカー |
キャノンアネルバテクニクス株式会社 |
| 取り付け |
オプション |
| 測定圧力範囲 |
10-2〜10-9Pa |
| 外形 |
209W×99H×330D(1/2ラックサイズ) |
| 重量 |
5.4Kg |
| 特徴 |
・圧力レンジ自動切換
・ガス種による比感度の設定が可能
・豊富なオプション:
ゲージセレクタボックス/TCゲージボード/CMボード
BCD出力ボード/セットポイントボード/RS232Cボード
GP-IBボード
・APC(圧力自動制御)用レンジホールド機能を標準装備
・測定球:NIG-2F/NIG-2TF ヌードイオンゲージ球
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メーカー詳細情報 |
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| M-340DG |
| メーカー |
キャノンアネルバテクニクス株式会社 |
| 取り付け |
8-VCR(メス)、NW16、NW25、φ70ICF、φ15チューブ |
| 測定圧力範囲 |
133.3Pa(1Torr)(M-340DG-01)、133.3kPa(1000Torr)(M-340DG-13) |
| 外形 |
センサーヘッド部 φ38×L66.5mm |
| 重量 |
センサーヘッド部 約170g |
| 特徴 |
・シリコンダイヤフラムの採用により、高感度、高再現性を実現
・マイクロマシン(MEMS)技術を用いて、小型化、低価格(量産化)を実現
・センサチップのみの交換が可能なためメンテナンスコスト低減 |
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メーカー詳細情報 |
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| M-832HG |
| メーカー |
キャノンアネルバテクニクス株式会社 |
| 取り付け |
φ15 ゲージアダプタ又は、NW16、NW25、Φ34ICF、Φ70ICF 付等 |
| 測定圧力範囲 |
9.9×100 〜 0.1×10-7Pa |
| 外形 |
99H×209W×330D |
| 重量 |
5.4kg |
| 特徴 |
・測定レンジ自動切り替え
・見やすい液晶表示形式
・豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能
・様々なオプションにより、機能拡張が可能 |
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メーカー詳細情報 |
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| M-101QA-TDF |
| メーカー |
キャノンアネルバテクニクス株式会社 |
| 取り付け |
φ70ICF |
| 測定圧力範囲 |
1.3×10-2Pa以下 |
| 重量 |
分析管1.4Kg、コントローラ2.2Kg |
| 特徴 |
・F:検出器にファラデーカップ(FC)を使用した標準モデル
・M:検出器に2次電子増倍管(SEM)を搭載した高感度モデル
・低ガス放出分析管、デガス機能を搭載
・高感度モデルM-201QA-TDM(質量数1〜200)、M-101QA-TDM(質量数1〜100)
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メーカー詳細情報 |
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