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| VRS-070 |
| メーカー |
真空光学株式会社 |
| 取り付け |
ICF70FT |
| 回転方向 |
回転360°手動 |
| X・Y 平行移動 |
全高 35mm
内径 Φ36mm |
| リーク量 |
10-10Pa・ｍ3/sec 以下 |
| 差動排気部 |
ICF34FT |
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メーカー詳細情報 |
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| VRS-114 |
| メーカー |
真空光学株式会社 |
| 取り付け |
ICF114FT |
| 回転方向 |
回転360°手動またはモーター駆動 |
| X・Y 平行移動 |
全高 70mm
内径 Φ64mm |
| リーク量 |
10-10Pa・ｍ3/sec 以下 |
| 位置決め精度 |
分解能 ハンドル1回転3°
1目盛 0.15 |
| 差動排気部 |
ICF34FT |
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メーカー詳細情報 |
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| VRS-152 |
| メーカー |
真空光学株式会社 |
| 取り付け |
ICF152FT |
| 回転方向 |
回転360°手動またはモーター駆動 |
| X・Y 平行移動 |
全高 70mm
内径 Φ102mm |
| リーク量 |
10-10Pa・ｍ3/sec 以下 |
| 位置決め精度 |
ハンドル1回転2° |
| 差動排気部 |
ICF34FT |
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メーカー詳細情報 |
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