導入機 LM-40S-BN(LM-80S-BN)  メーカー 真空光学株式会社   取り付け 接続フランジ ICF70FH 拡張取付けフランジ ICF34FT　BNC付ICF34付  回転方向 貫通型直線導入  X・Y 平行移動 移動距離 0〜40mm（LM-40S-BN） 0〜80mm（LM-80S-BN)  位置決め精度 １rev./2mm 1目盛り／0.1mm  メーカー詳細情報 MLM-80S-BN  メーカー 真空光学株式会社   取り付け 接続フランジ ICF34FH 拡張取付フランジ ICF34FT　BNC付ICF34付属  回転方向 同軸直線導入  X・Y 平行移動 移動距離 0〜40mm（MLM−40S−BN） 0〜80mm（MLM-80S-BN）  溶接ベロー 伸縮方式  リーク量 5×10-10torrl/sec以下  位置決め精度 1mm/Rev　0.05ｍｍ/div  メーカー詳細情報 VL-40S  メーカー 真空光学株式会社   取り付け ICF70（114、152も製作可能）  回転方向 直線導入  X・Y 平行移動 0〜40mm  溶接ベロー 伸縮方式  リーク量 5×10-10torrl/sec以下  位置決め精度 1mm/Rev　0.05ｍｍ/div  メーカー詳細情報 MLM−40ST  メーカー 真空光学株式会社   取り付け ICF34  回転方向 直線導入  X・Y 平行移動 0〜40mm  溶接ベロー 伸縮方式  リーク量 5×10-10torrl/sec以下  位置決め精度 1mm/Rev　0.05ｍｍ/div  メーカー詳細情報 VCM-B  メーカー 真空光学株式会社   取り付け ICF34FH ロッド　φ6　先端M6X18L加工  回転方向 直線導入  X・Y 平行移動 0〜22mm  リーク量 5×10-10torrl/sec以下  位置決め精度 目盛 0.01mm  メーカー詳細情報