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| XY-70型 |
| メーカー |
真空光学株式会社 |
| 取り付け |
CF70FT 及び ICF70FH
ICF114 及び ICF152 |
| 回転方向 |
X,Y-2方向 |
| X・Y 平行移動 |
最大移動 ±5mm
精度 目盛 0.01mm |
| 溶接ベロー |
外径 40mm 内径 20mm |
| リーク量 |
10-10Pa・ｍ3/sec 以下 |
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メーカー詳細情報 |
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| X-70/70-M |
| メーカー |
真空光学株式会社 |
| 取り付け |
ベースフランジ ICF70FH
移動フランジ ICF70FT |
| 回転方向 |
X-1方向 |
| X・Y 平行移動 |
±12.5mm(ﾊﾟﾙｽﾓｰﾀｰ駆動)
フランジ面間 110mm
分解能 0.04μm/pulse
リミットスイッチ付 |
| 溶接ベロー |
外径φ60mm 内径φ40mm |
| 耐真空度 |
〜10-10Torr 以下 |
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メーカー詳細情報 |
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