マニュピレーター VM-150  メーカー 真空光学株式会社   取り付け 上部・・・ICF70FT 下部・・・ICF152FH  回転方向 X,Y,Z-3方向  X・Y 平行移動 最大移動 ±12.5mm 移動密度 10μ以下  Z方向移動 最大移動 150mm 移動密度 50μ以下  溶接ベロー 外径 60mm 内径 40mm  耐真空度 〜10-10Torr 以下  メーカー詳細情報 CLMシリーズ(冷凍機用)  メーカー 真空光学株式会社   取り付け 上部・・・ICF114FH 下部・・・ICF152FH  回転方向 X,Y,Z-3方向  X・Y 平行移動 最大移動 ±12.5mm マイクロヘッド 0.002mm/目盛  Z方向移動 移動量 50m/m〜1000m/m 4mm/回転  溶接ベロー 外径 100mm 内径 75mm  耐真空度 〜10-10Torr 以下  メーカー詳細情報 CLM-70/70  メーカー 真空光学株式会社   取り付け ベースフランジ　ICF70FH 移動フランジ　ICF70FT  回転方向 X,Y,Z-3方向  X・Y 平行移動 最大移動　±6.5mm（手動） 移動精度　10μm以下  Z方向移動 100〜200m/m（手動） 移動精度　50μm以下  溶接ベロー 外径φ60mm 内径φ40mm  耐真空度 〜10-10Torr 以下  メーカー詳細情報