セラミックボールベアリング式
【排気速度/N2】10L/s ～ 685L/s
・取り付け姿勢自在
・コンパクトサイズ
・業界トップクラスの排気性能
・長寿命
・簡便なオイルカートリッジ交換
・各種規格に対応
・防塵、防水規格IP54適合
製品仕様
【一式構成】
ターボポンプ本体、専用コントローラ、接続ケーブル（3ｍ） スプリンターシールド(吸気口保護網）、空冷ファン
| Performance | HiPace10 | HiPace30 | HiPace80 | HiPace300 | HiPace300 TC400 |
|---|---|---|---|---|---|
| 排気速度(L/s) N2 | 10 | 32 | 67 | 260 | 260 |
| H2 | 3.7 | 20 | 48 | 220 | 220 |
| 最大圧縮比 N2 | 3.0×106 | ＞1×1011 | ＞1×1011 | ＞1×1011 | ＞1×1011 |
| H2 | 3.0×102 | ＞3×105 | 1.4×105 | 9.0×105 | 9.0×105 |
| 到達圧力(Pa) | 5×10-3 | ＜5×10-8 | ＜5×10-8 | ＜5×10-8 | ＜5×10-8 |
| 最大許容排圧(Pa) | 2500 | 2400 | 2200 | 1500 | 2000 |
| 起動時間(min) | 0.9 | 1.7 | 1.7 | 3.5 | 1.8 |
| 質量(kg) ICF型 | 1.8 (NW25) | 3.4 (ICF114) | 3.8 (ICF114) | 8.2 (ICF152) | 8.7 (ICF152) |
| Performance | HiPace400 | HiPace700 | HiPace300H 高圧縮比モデル |
HiPace300M 磁気軸受式モデル |
HiPace800M 磁気軸受式モデル |
|---|---|---|---|---|---|
| 排気速度(L/s) N2 | 370 | 685 | 260 | 255 | 790 |
| H2 | 460 | 555 | 220 | 170 | 500 |
| 最大圧縮比 N2 | ＞1×1011 | ＞1×1011 | ＞1×1013 | 1×1011 | 1×1011 |
| H2 | 4.0×105 | 4.0×105 | 1.0×107 | 5×105 | 2×105 |
| 到達圧力(Pa) | ＜5×10-8 | ＜5×10-8 | ＜5×10-8 | ＜5×10-8 | ＜5×10-8 |
| 最大許容排圧(Pa) | 1400 | 1400 | 3000 | 2000 | 800 |
| 起動時間(min) | 2 | 2 | 3.5 | ＜2 | 4 |
| 質量(kg) ICF型 | 17.5 (ICF152) | 17.4 (ICF203) | 8.2 (ICF152) | 17.2 (ICF152) | 21.6 (ICF253) |
カテゴリー：ターボ分子ポンプ 伯東(株)/ファイファー・バキューム