独自モードセレクタスイッチ：1つのポンプで高真空および高排気量運転が可能
高ガスバラスト流量：最大220ｇ/時の水蒸気処理能力
高速インレットバルブ：開口部の制御によるシステム保護
低騒音：到達時騒音レベルわずか48dB
Oリングシール型サイトグラス：オイルレベルを目視点検が可能
強制空冷：低いポンプ表面温度を保護
製品仕様
| メーカー名 | エドワーズ株式会社 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 型式 | RV3 | RV5 | RV8 | RV12 | |
| 排気速度 [L/min] | 50Hz | 55 | 85 | 141.7 | 200 |
| 60Hz | 65 | 103.3 | 166.7 | 236.7 | |
| 到達真空 [Pa] | ガスバラ閉 | 0.2 | |||
| ガスバラ開 | 3 | ||||
| 許容水蒸気圧 [Pa] | 8,000 | 5,000 | 3,800 | 3,200 | |
| 水蒸気処理能力 [g/hr] | 220 | 290 | |||
| 吸気接続 | NW25 | ||||
| 排気接続 | NW25 | ||||
| 標準オイル | ウルトラグレード19 | ||||
| オイル量 [L] | 0.7 | 0.75 | 1 | ||
| 質量 [kg] | 25 | 28 | 29 | ||
| 電圧 [V] | 単相 | 100-200 | |||
| 三相 | 200-300および380-460 | ||||
| 到達時騒音レベル [dB] | 50Hz | 48 | |||
| 動作温度範囲 ℃ | 12～40 | ||||